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氢化物气体检测/分析仪 FP-260 |
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产品名称：氢化物气体检测/分析仪 FP-260
厂 商：日本理研
送货时间：48小时内
市场价格：洽询
本站价格：未知 |
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产品介绍：
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产品详细介绍 |
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工业半导体净化室的理想检测仪
更适于低浓度气体检测（ppm级）
抗干扰性强
盒式带取放简便
盒带剩余量显示 |
| 产品功能描述 |
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| 检测原理 |
使用盒式纸带的光电光度学原理 |
| 检测纸带 |
盒式纸带,VHS型快速更换型盒带 |
| 电源和耗电量 |
AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在检测状态耗能为35VA，在纸带卷动时耗能为60VA) |
| 产品物理特征 |
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| 长度 |
370mm |
| 宽度 |
275mm |
| 高度 |
220mm |
| 重量 |
约12kg |
| 产品持有证书 |
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CE |
| 其它 |
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检测气体和范围
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检测气体 |
TLV值 |
检测范围 |
解析值 |
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磷 PH4 |
300ppb |
0##900ppb |
5 |
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四氢化硅 SiH4 |
5ppm |
0##15ppm |
0.25 |
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乙硼烷 B2H6 |
100ppb |
0##300ppb |
5 |
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砷烷AsH3 |
50ppb |
0##150ppb |
1 |
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乙硅烷 SiH6 |
5ppm |
0##10ppm |
0.1 |
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硫化氢 HS2 |
10ppm |
0##100ppm |
1 |
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光气 COCl2 |
100ppb |
0##300ppb |
2 |
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氯气 Cl2 |
0.5ppm |
0##100ppb |
1 |
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硒化氢 H2Se |
50ppb |
0##300ppb |
2 | | |
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